プログラムなど極小時間を計測する必要がある場合には、高分解能パフォーマンスカウンタを使う必要があります。
- Win32 API
QueryPerformanceFrequency(MSDNリファレンス)、QueryPerformanceCounter(MSDNリファレンス)を使用します。
MSDN技術関連記事
http://mcn.oops.jp/wiki/index.php?Develop%2FTimer - .NET2.0～
System.Diagnostics.Stopwatch(MSDNリファレンス)。
"アンマネージ Win32 API QueryPerformanceFrequency および QueryPerformanceCounter の代わりに使用できる"と書いてあるので、精度はそれに準じます。 - ～.NET1.1
Win32 APIを呼び出すと取れるようです。
http://homepage3.nifty.com/midori_no_bike/CS/sample.html
なお、.NETにおけるDateTime.Nowの精度は、10 ミリ秒(Windows NT 3.5 以降)または55 ミリ秒(Windows 98)(MSDNリファレンス)であるため高精度とはいえず、性能計測には力不足です。